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　　Bartels微泵是可以控制和操纵少量流体的设备。尽管通常将任何类型的小型泵称为微泵，但更精确的定义将这一术语限制为功能尺寸在微米范围内的泵。这种泵在微流体研究中特别受关注，并且近年来已可用于工业产品集成。与现有的Bartels微泵相比，它们的整体尺寸小，潜在成本高和计量精度提高，激发了人们对这种创新型泵的兴趣。

 

　　Bartels微泵的机械分类：

　　隔膜微型泵：

　　使用隔膜的重复驱动来驱动流体。隔膜位于主泵阀上方，主阀位于进口和出口微型阀之间。当膜片通过某种驱动力向上偏转时，流体被吸入入口阀并进入主泵阀。然后降低膜，使流体通过出口阀排出。重复该过程以连续泵送流体。

 

　　压电微型泵：

　　是排量往复隔膜泵的最常见类型之一。压电驱动的微型泵依靠压电陶瓷的机电性能响应施加的电压而变形。附着在膜片上的压电盘引起膜片偏转，该膜片偏转由外部轴向电场驱动，从而使微型泵的腔室膨胀和收缩。这种机械应变导致腔室内的压力变化，从而导致流体的流入和流出。流速由材料的极化极限和施加在压电上的电压控制。与其他驱动原理相比，压电驱动虽然需要相对较高的驱动电压和压电陶瓷的复杂安装过程，但仍可实现高行程量，高驱动力和快速的机械响应。

　　尺寸最小的3.5x3.5x0.6mm 3压电微型泵由Fraunhofer EMFT开发，该机构是世界着名的研究机构，专注于MEMS和微系统技术。Bartels微泵由三层硅组成，其中一层作为泵隔膜从上方限制泵腔，而另外两层分别代表中间阀芯和底部阀芯。被动瓣阀在入口和出口的开口根据流动方向进行定向。负压施加到压电泵上时，隔膜会膨胀，从而产生负压，将流体吸入泵室。反之，当正电压将隔膜向下推动时，会导致过压打开出口阀并迫使流体流出腔室。