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详细解析THYRACONT真空计的分类原理
更新时间:2021-08-24   点击次数:769次
  THYRACONT真空计是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
 
  THYRACONT真空计的测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的THYRACONT真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
  利用力学性能的真空计典型的有波尔登规和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
  1、波尔登规:
  细的铜管受气体压力不同会有舒展现象,会带动杠杆和齿轮旋转,使得指针指示在不同刻度上,即可读出相应的气压值。
  这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。
 
  2、热电偶规:
  热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致,只是它不用测量热丝电阻的变化,而是用热电偶直接测量热比的温度变化。
  测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。
  与皮拉尼电阻规一样,这种规也需要在不同的使用气体下标定。
 
  3、薄膜电容规:
  在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形,使得金属膜片和电极之间的电容变化,通过测量电容的变化量,即可知道金属膜片上气压的变化。
  这种规的测量范围一般横跨4个量级,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
  这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用,以消除温度不同对膜片力学性能的影响,使用前一般需要预热数小时。
 
  4、皮拉尼电阻规:
  也叫做热电阻真空计,它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。
  由于不同气压下气体分子热传导能力不同,当给热丝加恒定的电流时,由于气压不同通过气体传导走的热量不同,热丝所保持的温度就不同,这导致热丝电阻大小不同,通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。
  如果配合电桥测量热丝电阻的变化,将有效提高测量的准确度。
  这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。
  由于不同气体在相同气压时导热性不同,所以这种规需要在不同的使用气体下标定。

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